|
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО
ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
|
|
|
НАЦИОНАЛЬНЫЙ
СТАНДАРТ
РОССИЙСКОЙ
ФЕДЕРАЦИИ
|
ГОСТ Р ИСО
14644-3-
2007
|
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ
С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Часть 3
МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ
ISO 14644-3:2005
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
(IDT)
|
Москва Стандартинформ 2008
|
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»
Сведения о стандарте
1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией «Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений» (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода стандарта, указанного в пункте 4
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной чистоты»
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 27 декабря 2007 г. № 616-ст
4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-3:2005 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методыиспытаний» (ISO 14644-3:2005 «Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods»)
5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
Содержание
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Методы испытаний
4.1 Методы испытаний чистых помещений
4.1.1 Обязательные методы
4.1.2 Дополнительные методы
4.2 Характеристики методов испытаний
4.2.1 Определение концентрации аэрозольных частиц
4.2.2 Анализ воздушных потоков
4.2.3 Перепад давления
4.2.4 Целостность установленной системы фильтрации
4.2.5 Направление потока воздуха, визуализация потока
4.2.6 Однородность температуры и влажности
4.2.7 Статическое электричество и генерация ионов
4.2.8 Осаждение частиц
4.2.9 Время восстановления
4.2.10 Герметичность ограждающих конструкций
5 Протокол испытаний
Приложение А (справочное)
Выбор методов испытаний чистых помещений и последовательность их проведения
Приложение В (справочное)
Методы испытаний
Приложение C (справочное)
Оборудование для проведения испытаний
Приложение D (справочное)
Сведения о соответствии национальных стандартов Российской Федерации ссылочным международным стандартам
Библиография
Введение
Во многих отраслях промышленности и сферах действия человека предъявляются специальные требования к чистоте воздуха в помещениях. Эти требования выполняются за счет применения чистых помещений, в которых концентрация аэрозольных частиц не должна превышать установленных пределов. Значения этих пределов обусловлены особенностями технологических процессов, выполняемых в чистых помещениях, и требованиями к выпускаемой в них продукции. Чистые помещения широко применяются в электронной, космической, фармацевтической, пищевой промышленности, при производстве медицинских изделий, в больницах и т.п.
Настоящий стандарт устанавливает методы испытаний и контроля чистых помещений и может быть использован для установления определения параметров чистых помещений с учетом других стандартов серии ИСО 14644.
Примечание - Настоящий стандарт устанавливает не все методы контроля параметров чистых помещений. Методы контроля и оборудование для специфической продукции и процессов установлены в других стандартах, разработанных ИСО/ТК 209. Например, методы контроля при работе с живыми организмами - в стандартах серии ИСО 14648, оценки технологических характеристик чистых помещений - в стандарте ИСО 14644-4, методы контроля изоляторов - в стандарте ИСО 14644-7. Дополнительно могут использоваться и другие стандарты.
Международный стандарт ИСО 14644-3 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209, «Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments- Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды»
Серия Международных стандартов ИСО 14644 имеет общее наименование «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды» и включает в себя следующие стандарты:
- 14644-1 Классификация чистоты воздуха;
- 14644-2 Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14464-1;
- 14644-3 Методы испытаний;
- 14644-4 Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;
- 14644-5 Эксплуатация;
- 14644-6 Термины и определения;
- 14644-7 Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);
- 14644-8 Классификация молекулярных загрязнений в воздухе.
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
|
|
Часть 3
|
|
Методы испытаний
|
|
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods
|
Дата введения - 2008-10-01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает метрологические характеристики и методы испытаний чистых помещений и чистых зон для определения класса чистоты. В стандарте приведены методы испытаний для двух типов чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и неоднонаправленным потоком воздуха) и для трех состояний чистого помещения (построенное, оснащенное, эксплуатируемое).
Стандарт устанавливает требования к оборудованию и методикам испытаний. Для тех случаев, когда особенности чистого помещения или чистой зоны оказывают влияние на метод испытаний, предложены альтернативные методики. Для некоторых видов испытаний могут использоваться различные методики и типы оборудования. Альтернативные методы, не включенные в настоящий стандарт, могут применяться по соглашению между заказчиком и исполнителем. Альтернативные методы не всегда обеспечивают эквивалентность измерений.
В настоящем стандарте не рассматриваются методы испытаний продукции и технологических процессов в чистых помещениях или изолирующий устройствах.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ИСО 7726:1998 Эргономика термальной среды. Приборы для измерения физических величин
ГОСТ ИСО 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
ГОСТ Р ИСО 14644-2:2000 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1
ГОСТ Р ИСО 14644-4:2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 Общая часть
3.1.1 чистое помещение(cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.1)].
3.1.2 чистая зона(cleanzone): Пространство, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри зоны, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.2)].
3.1.3 система чистого помещения(installation): Чистое помещение или одна или несколько чистых зон со всеми относящимися к ним структурами, системами подготовки воздуха, обслуживания и утилизации [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.3)].
3.1.4 изолирующее устройство(separativedevice): Оборудование, которое за счет конструкционных или динамических свойств обеспечивает необходимое разделение внутреннего объема устройства и окружающей его среды.
Примечание - Примерами изолирующих устройств являются укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения.
3.2 Аэрозольные частицы
3.2.1 генератор аэрозолей(aerosolgenerator): Устройство, позволяющее за счет теплового, гидравлического, пневматического, акустического или электростатического эффектов генерировать с постоянной концентрацией частицы, размеры которых соответствуют установленному диапазону (например, от 0,05 до 2 мкм).
3.2.2 аэрозольная частица(airborneparticle): Взвешенный в воздухе твердый или жидкий объект, живой или неживой, с размерами, как правило, от 1 до 100 мм.
Примечание - Классификация частиц приведена в ИСО 14644-1 (пункт 2.2.1).
3.2.3 счетная медиана диаметров частиц;СМД (countmedianparticlediameter, CMD): Усреднённый диаметр частицы, полученный из распределения числа частиц.
Примечание - Счетная медиана определяется следующим образом: при распределении половина частиц в распределении имеет диаметр меньший, а другая половина - диаметр больший, чем счетная медиана.
3.2.4 макрочастица(macroparticle): Частица с эквивалентным диаметром более 5 мкм [ИСО 14644-1 (пункт 2.2.6)].
3.2.5 М-дескриптор(M-descriptor): Полученное или заданное количество макрочастиц в 1 м3 воздуха, эквивалентный диаметр которых зависит от используемого метода измерения.
Примечание - М-дескриптор можно рассматривать как верхнее предельное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). М-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО 14644-1, (пункт 2.3.2)].
3.2.6 медиана диаметров частиц по массе(countmedianparticlediameter, CMD): Диаметр частицы, определение которого основано на распределении массы частиц как функции их диаметра.
Примечание - Эта медиана определяется таким образом, что половина массы частиц в распределении имеет диаметр меньший, а другая половина - диаметр больший, чем массовая медиана.
3.2.7 концентрация частиц(particleconcentration): Число частиц в единице объема воздуха.
3.2.8 размер частицы(particlesize): Диаметр сферы, сигнал от которой в контрольном приборе, определяющем размер частиц, равен сигналу от оцениваемой частицы.
3.2.9 распределение частиц по размерам(particlesizedistribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров [ИСО 14644-1, (подраздел 2.2.4)].
3.2.10 контрольный аэрозоль(testaerosol): Суспензия взвешенных в воздухе твердых и (или) жидких частиц с известными концентрацией и распределением по размеру.
3.2.11 U -дескриптор(U- descriptor): Полученное или заданное количество частиц, включая ультрамелкие частицы, в 1 м3 воздуха.
Примечание - U-дескриптор можно рассматривать как верхнее предельное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). U-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО 14644-1, (пункт 2.3.1)].
3.2.12 ультрамелкая частица(ultrafineparticle): Частица с эквивалентным диаметром менее 0,1 мкм [ИСО 14644-1 (пункт 2.2.5)].
3.3 Фильтры очистки воздуха и системы фильтрации
3.3.1 испытание с использованием аэрозоля(aerosolchallenge): Испытание фильтра или установленной системы фильтрации при помощи контрольного аэрозоля.
3.3.2 допустимая утечка(designatedleak): Максимально допустимый проскок частиц, установленный по соглашению между заказчиком и исполнителем как утечка, определяемая путем сканирования с помощью дискретного счетчика частиц или фотометра аэрозолей.
3.3.3 система разбавления(dilutionsystem): Система, в которой аэрозоль с целью уменьшения концентрации частиц смешивается в известном соотношении объемов с воздухом, не содержащим частиц.
3.3.4 система фильтрации(filtersystem): Система, состоящая из фильтра, рамы и других элементов крепления фильтра или других фильтродержателей.
3.3.5 финишный фильтр(finalfilter): Фильтр последней ступени очистки, через который проходит воздух, перед тем как попасть в помещение.
3.3.6 установленная система фильтрации(installedfiltersystem): Система фильтрации, вмонтированная в потолок, стену, оборудование или воздуховод.
3.3.7 испытание целостности установленной системы фильтрации(installedfiltersystemleakagetest): Испытание, для проверки правильности установки фильтров, отсутствия утечек в обход фильтров, а также самих фильтров и их креплений на содержание дефектов и утечек.
3.3.8 утечка(leak): Проскок частиц, приводящий к превышению их ожидаемой концентрации после фильтра из-за нарушения целостности в системы фильтрации.
3.3.9 сканирование(scanning): Метод обнаружения утечек в системе фильтрации, при котором пробоотборником фотометра аэрозолей или дискретного счетчика частиц совершают перекрывающиеся движения вдоль определенной испытуемой плоскости.
3.3.10 стандартная утечка(standardleakpenetration): Проскок, определяемый с помощью дискретного счетчика частиц или фотометра аэрозолей, имеющих стандартную скорость отбора проб, когда пробоотборник находится напротив места утечки.
Примечание - Значение проскока равно отношению концентрации частиц в воздухе после фильтра к концентрации частиц перед фильтром.
3.4 Поток воздуха
3.4.1 кратность воздухообмена(airexchangerate): Интенсивность обмена воздуха, определяемая как число обменов воздуха в единицу времени, равная отношению объема воздуха, подаваемого в единицу времени, к объему пространства, куда он подается.
3.4.2 средний расход воздуха(averageairflowrate): Среднее значение объема воздуха, подаваемого в единицу времени, используемое для определения кратности воздухообмена в чистом помещении или чистой зоне.
Примечание - Расход воздуха выражается в м3/н.
3.4.3 плоскость измерений(measuringplane): Плоскость поперечного сечения, в которой проводятся испытания или измеряется скорость потока воздуха.
3.4.4 неоднонаправленный поток воздуха(non-unidirectionalaiflow): Поток воздуха, распределение скоростей которого обусловлено вихревым перемешиванием воздуха, поступающего в чистое помещение или чистую зону, с внутренним воздухом [ИСО 14644-4 (пункт 3.6)].
3.4.5 расход приточного воздуха(supplyaiflowrate): Объем воздуха, подаваемого в чистое помещение (чистую зону) через финишные фильтры или воздуховоды в единицу времени.
3.4.6 полный расход воздуха(totalaiflowrate): Объем воздуха, который проходит через чистое помещение (чистую зону) в единицу времени.
3.4.7 однонаправленный поток воздуха(unidirectionalairflow): Поток воздуха проходящего с постоянной скоростью и имеющего приблизительно параллельные линии тока по всему поперечному сечению чистой зоны.
3.4.8 однородность потока воздуха(uniformityofaiflow): Характеристика однонаправленного потока воздуха, когда значения скоростей воздуха в различных точках находятся в установленных пределах относительно средней скорости потока воздуха.
3.5 Статическое электричество
3.5.1 время разряда(dischargetime): Время, необходимое для уменьшения напряжения до начального уровня (положительного или отрицательного).
3.5.2 напряжение смешения(offsetvoltage): Электрический потенциал, накапливающийся на первоначально незаряженной изолированной проводящей пластине при помещении ее в ионизированный воздух окружающей среды.
3.5.3 рассеивание статического электричества(static-dissipativeproperty): Снижение количества электростатического электричества на рабочей поверхности или поверхности продукта вследствие проводимости или других механизмов до установленного значения или нулевого уровня.
3.5.4 поверхностное напряжение(surfacevoltagelevel): Положительный или отрицательный электрический заряд на рабочей поверхности или поверхности продукта, накапливаемый при использовании соответствующего оборудования.
3.6 Контрольно-измерительное оборудование и способы отбора проб
3.6.1 фотометр аэрозолей(aerosolphotometer): Устройство, для определения массовой концентрации аэрозольных частиц, работа которого основана на принципе рассеивания света.
3.6.2 неизокинетический отбор проб(anisokineticsampling): Условие отбора проб, при котором средняя скорость воздуха, поступающего в пробоотборник, значительно отличается от средней скорости однонаправленного потока воздуха в точке отбора пробы.
3.6.3 каскадный импактор(cascadeimpactor): Устройство для отбора проб, в котором накапливаются частицы, отбираемые из аэрозоля, на серии накопительных пластин, используя принцип импакции (осаждения).
Примечание - Через каждую последующую накопительную пластину поток аэрозоля проходит с большей скоростью, чем через предыдущую, в результате чего на ней осаждаются более мелкие частицы, чем на предыдущей накопительной пластине.
3.6.4 счетчик ядер конденсации(condensationnucleuscounter, CNC): Устройство, которое позволяет увеличивать размеры ультрамелкой частицы за счет эффекта конденсации с целью их последующего счета с использованием оптических методов счета частиц.
3.6.5 эффективность счета(countingefficiency): Отношение полученной концентрации частиц в определенном диапазоне размеров к действительной концентрации таких частиц.
3.6.6 дифференциальный анализатор подвижности(differentialmobilityanalyzer, DMA): Устройство, позволяющее получить распределение частиц по размеру, работа которого основана на принципе подвижности частиц в электрическом поле.
3.6.7 секция диффузионной батареи(diffusionbatteryelement): Элемент многоступенчатого устройства для сортировки частиц по размерам, использующий эффект диффузии для удаления наименьших частиц из потока аэрозоля.
3.6.8 дискретный счетчик частиц(discrete-particlecounter, DPC): Устройство, для счета частиц в определенном объеме воздуха в зависимости от их размера.
3.6.9 фоновый счет(falsecount, backgroundnoisecount, zerocount): Результат счета частиц дискретным счетчиком, получаемый при отсутствии частиц, вызванный влиянием внешних и внутренних электронным наводкам.
3.6.10 расходомер с раструбом, расходомер(flowhoodwithflowmeter): Устройство, полностью накрывающее фильтр или диффузор, с оборудованием для прямого измерения расхода воздуха через каждый финишный фильтр или воздушный диффузор в чистом помещении или чистой зоне.
3.6.11 изоаксиальный отбор проб(iso-axialsampling): Отбор проб, при котором направление воздушного потока на входе в пробоотборник совпадает с направлением однонаправленного потока, подлежащего отбору.
3.6.12 изокинетический отбор проб(isokineticsampling): Отбор проб, при котором средняя скорость воздуха, входящего в пробоотборник, равна средней скорости однонаправленного потока в точке отбора.
3.6.13 устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц(particlesizecutoffdevice): Устройство, помещаемое на входе в дискретный счетчик частиц или счетчик ядер конденсации для удаления частиц размером менее установленного.
3.6.14 пороговый размер(thresholdsize): Минимальный размер частицы, выбранный для определения концентрации частиц с размерами, большими или равными этому значению.
3.6.15 определение размера частицы по времени пролета(time-of-flightparticlesizemeasurement): Определение аэродинамического диаметра частицы путем измерения времени, необходимого для ее прохождения расстояния между двумя плоскостями.
Примечание - Это измерение основано на эффекте изменения скорости частиц, попадающих в поток с градиентом скорости воздуха.
3.6.16 виртуальный импактор(virtualimpactor): Устройство для разделения по размеру частиц, которые под действием внутренних сил сталкиваются с предполагаемой (виртуальной) поверхностью.
Примечание - Большие частицы проходят через некоторую предполагаемую поверхность в пространстве стандартного объема, в то время как маленькие частицы отклоняются вместе с основной частью воздушного потока.
3.6.17 демонстрационная пластина(witnessplate): Чувствительный к загрязнениям материал с определенной площадью поверхности, используемый вместо прямого измерения загрязнения поверхности, которая находится в недоступном месте или слишком чувствительна для прямого измерения.
3.7 Состояния чистого помещения или чистой зоны(Occupancystates)
3.7.1 построенное(as-built): Состояние, в котором монтаж чистого помещения завершен, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует производственное оборудование, материалы и персонал [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.1)].
3.7.2 оснащенное(at-rest): Состояние, в котором чистое помещение укомплектовано оборудованием и действует по соглашению между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует. [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.2)].
3.7.3 эксплуатируемое(operational): Состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом, с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.3)].
4 Методы испытаний
— Все документы — Другие национальные стандарты — 13 Охрана окружающей среды, защита человека от воздействия окружающей среды. Безопасность — ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007 ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ Часть 3 МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ
Годовая инфляция в сентябре замедлилась в России до 8,63 %
Эксперт Бондарь предупредил о начислении пени за неуплату платежей за ЖКХ
В ЦБ раскритиковали льготную ипотеку словами о завещании ипотечных долгов
«БелНовости»: избавиться от запаха канализации в доме удастся с помощью уксуса
Зампред ЦБ Заботкин заявил о возможном снижении ключевой ставки в 2026 году