— Все документы — ГОСТы — ГОСТ 9847-79 ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ. ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

ГОСТ 9847-79 ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ. ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

ГОСТ 9847-79 ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ. ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

Утв. Постановлением Госстандарта СССР от 29 августа 1979 г. N 3261
Государственный стандарт Союза ССР ГОСТ 9847-79
"ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ. ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ"

Optical instruments for surface roughness parameters measuring. Basis parameters and types

Дата введения 1 января 1981 г.

Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее - приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров R_max, Rz и S по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.

Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1, 2.2.1-2.2.3, 2.4.1-2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования - рекомендуемыми.

(Измененная редакция, Изм. N 2).

1. Типы

Типы приборов устанавливаются следующие:

ПТС - прибор теневого сечения;

ПСС - прибор светового сечения;

МИИ - микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;

МПИ - микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2. Основные параметры

2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл. 1.

Таблица 1

Тип прибора

Параметр шероховатости

Пределы измерений

ПТС

Rz, R_max

40-320 мкм

S

0, 2-1, 6 мм

ПСС

Rz, R_max

0, 5-40 мкм

S

0, 002-0, 5 мм

МИИ

Rz, R_max

0, 05-0, 8 мкм

S

0, 002-0, 05 мм

МПИ

Rz, R_max

0, 05-0, 8 мкм

Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл. 1.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1-2.2.3.

Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.

Таблица 2

Диапазон измерения параметров Rz и R_max, мкм

Линейное поле зрения, мм, не менее

Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее

Апертура объектива

Общее увеличение микроскопа, крат, не более

От 40 до 320

8

1

0, 03

32

0, 05

32

От 10 до 40

2, 5

4

0, 1

80

0, 12

60

0, 15

60

От 4 до 10

0, 8

10

0, 2

200

0, 3

160

От 1, 6 до 4

0, 8

12, 5

0, 4

260

0, 45

200

От 0, 5 до 1, 6

0, 25

32

0, 5

750

0, 6

520

2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.

2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.

2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.

2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. N 1).

2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1-2.4.3.

Таблица 5

Диапазон измерения параметров Rz и R_max, мкм

Линейное поле зрения, мм, не менее

Апертура объектива

Общее увеличение микроскопа, крат, не более

От 0, 1 до 0, 8

0, 25

0, 3

400

0, 5;

670

0, 65

От 0, 05 до 0, 4

0, 25

0, 85;

1120

0, 95

От 0, 05 до 0, 1

0, 08

0, 95;

2500

1, 25

2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения в направлении измерения не должно быть более 0, 1 полосы для диапазона измерения от 0, 1 до 0, 8 мкм и 0, 05 полосы для диапазона измерения от 0, 05 до 0, 1 мкм.

2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.

2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения - 2 нм.

2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл. 6.

Таблица 6

Наименование параметра

Пределы измерения параметров Rz и R_max, мкм

от 0, 1 до 0, 8

от 0, 05 до 0, 5

Апертура объектива, не менее

0, 5

Линейное поле зрения, мм, не менее

0, 25

Общее увеличение прибора, не менее

300

500

Обратная линейная дисперсия диспергирующей системы для ламбда_D, нм/мм, не более

60

30

Предел разрешения диспергирующей системы для ламбда_D, нм, не более

0, 35

0, 2

Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения

5

3

Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более

1

2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6.

2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру R_max на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл. 7.

Таблица 7

Диапазон измерения параметра R_max, мкм

Базовая длина, мм

Предел допускаемой систематической составляющей погрешности, %, для типов

Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности, %, для типов

Предел допускаемой суммарной погрешности среднего трех измерений, %, для типов

ПТС, ПСС

ПТС, ПСС

ПТС, ПСС

Св. 160 до 320

8

2, 0

0, 5

2, 5

Св. 80 до 160

8

2, 5

1, 0

3, 5

Св. 40 до 80

8

3, 0

1, 7

5, 0

Св. 30 до 40

2, 5

3, 2

1, 7

5, 5

Св. 20 до 30

2, 5

3, 6

2, 0

6, 5

Св. 10 до 20

2, 5

4, 0

3, 5

8, 5

Св. 6, 3 до 10

0, 8

5, 0

4, 5

10, 0

Св. 3, 2 до 6, 3

0, 8

7, 0

6, 5

14, 0

Св. 1, 6 до 3, 2

0, 8

9, 0

8, 0

20, 0

Св. 0, 63 до 1, 6

0, 25

12, 0

10, 0

24, 0

Св. 0, 5 до 0, 63

0, 25

16, 0

12, 0

30, 0

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру R_max, не должны превышать значений, указанных в табл. 8.

Таблица 8

Тип прибора

Диапазон измерения параметров R_max, мкм

Базовая длина, мм

Апертура объектива

Предел допускаемой систематической погрешности, %

Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности, %

Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, %

МИИ

Св. 0, 4 до 0, 8

0, 25

0, 3

20

5

24

От 0, 5 до 0, 65

14

5

18

От 0, 85 до 0, 95

10

5

15

МПИ

0, 5

14

5

18

МИИ

Св. 0, 1 до 0, 4

0, 25

От 0, 5 до 0, 65

30

10

40

От 0, 85 до 1, 25

20

10

30

МПИ

0, 5

18

10

30

МИИ

Св. 0, 05 до 0, 1

0, 08

От 0, 95 до 1, 25

30

20

50

МПИ

0, 5

10

20

35

Приложение 1 (Исключено, Изм. N 1).

Приложение 2
Справочное

Термины, используемые в стандарте, и их определения

1. (Исключен, Изм. N 1).

2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС и ПСС - увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.


Возврат к списку
(Нет голосов)

Комментарии (0)


Чтобы оставить комментарий вам необходимо авторизоваться
Самые популярные документы
Новости
Все новости